等離子體去除惡臭是通過兩個(gè)途徑實(shí)現(xiàn)的：一個(gè)是在高能電子的瞬間是高能量作用下，打開某些有害氣體分子的化學(xué)鍵，使其直接分解成單質(zhì)原子或無害分子；另一個(gè)是在大量高能電子、離子、激發(fā)態(tài)粒子和氧自由基、氫氧自由基（自由基因帶有不成對(duì)電子而具有很強(qiáng)的活性）等作用下的氧化分解成無害產(chǎn)物。主要有下面幾個(gè)過程：

1、在高能電子作用下，強(qiáng)氧化性自由基O、OH、OH2的產(chǎn)生；
2、有機(jī)物分子受到高能電子碰撞被激發(fā)，及原子鍵斷裂形成小碎片基團(tuán)和原子；
3、O、OH、HO2與激發(fā)原子、有機(jī)物分子、廢氣處理公司破碎的基團(tuán)、其他自由基等發(fā)生一系列反應(yīng)，有機(jī)物分子最終被氧化降解為CO、CO2、H2O。去除率的高低與電子能量和有機(jī)物分子結(jié)合鍵能的大小有關(guān)。
從除臭機(jī)理上分析，主要發(fā)生以下反應(yīng)：
 
           H2O+O2、O2-、O2+——SO3+H2O
 
           NH3+O2、O2-、O2+——NOx+H2O
 
H2S去除率可達(dá)91.9％，NH3去除率可達(dá)93.4％，臭氣濃度去除率可達(dá)93.6％。
從上述反應(yīng)來看，惡臭組分經(jīng)過處理后，轉(zhuǎn)變?yōu)镹Ox、SO2、CO2、H2O等小分子，在一定的濃度下，各種反應(yīng)的轉(zhuǎn)化率均在95％以上，而且惡臭濃度較低，因此產(chǎn)物的濃度極低，均能被周邊的大氣所接受。